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Product Center光學環境真空微腔探針臺 測試腔:同時滿足靜態/動態測試,304不銹鋼材質,可在紫外燈下保證氣密性測試; 測試樣品數:同時測試8個樣品,可進行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應管測試;
不銹鋼加熱真空腔體主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺,臺面為50x50mm,臺面可升溫到350℃。
流量計數量:5個,(根據客戶需求標定 氣體 量程 進氣口和出氣口) 氣體環境密封 6探針真空探針臺測試腔 流量規格:500 ml/min 精準度:±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(<30% F.S.) 重復精度:±0.2% F.S 響應時間:≤1 s 密封形式:金屬密封 接頭尺寸:6 mm 漏率:<1×10-8 Pa·m3/s 通訊接口:RS485
方型真空加熱腔主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺,臺面為φ100mm,臺面可升溫到350℃。該腔體設計有進氣口和抽真空接口和2-4芯信號真空電極,多可選用6芯電極。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,由內部探針行將樣品電極引入腔體的信號線連接到外部測試儀器,外部信號線連接測試儀器來測試電子信號。